7月29日下午14点，由新葡的京集团3512vip官网主办的“未名·芯”论坛第二期通过线上方式顺利举行。本期论坛邀请到苏州敏芯微电子技术股份有限公司董事长李刚博士开展主题为“MEMS全产业链研发”的讲座，新葡的京集团3512vip官网李志宏教授主持，近300人线上参会。

      本次论坛由新葡的京集团3512vip官网、集成电路高精尖创新中心、新葡的京集团3512vip官网国家集成电路产教融合创新平台、集成电路科学与未来技术北京实验室、新葡的京集团3512vip官网校友会半导体分会联合主办。

主持人李志宏教授

  讲座伊始，李志宏教授对李刚博士以及线上听众表达了诚挚的欢迎，接着他通过王阳元院士所强调的“集成电路的科学和工程需要相互交叉并协同创新，必须面向国家发展的战略需求”来表达本次讲座的重要性，他表示集成电路和MEMS本身都是需要面向产业化、实用化的技术，随后介绍李刚博士开启了精彩的报告。

李刚博士线上开讲

  李刚博士从MEMS传感器研发特点展开此次讲座，着重介绍了MEMS全产业链研发的概念及其必要性。传感器是半导体行业的重要分支，是承担信息采集功能的唯一器件。不同于平面的集成电路研发，具有三维立体结构的MEMS传感器微型化的实现，需要定制化的制造、封装、测试工艺，依赖于整个产业链的支持。目前，半导体产业链处于高度分工状态，在面对市场失效、供应链风险、产业链不成熟、市场配套不完善等情况时具有明显的被动性，因此，推动MEMS全产业链研发十分关键。

  随后，李刚博士以苏州敏芯微电子技术股份有限公司（以下简称“敏芯”）的发展经历为例，介绍了公司成长为全球领先MEMS技术平台型企业的历程。MEMS行业在研发设计、晶圆制造、封装和测试环节都具有较高的技术壁垒，而敏芯的“半导体基因”决定了公司能够运用在MEMS传感器产品芯片设计、晶圆制造、封装与测试等各环节的自主研发能力实现核心技术积累，从零搭建了全本土化的国内生产体系，并推动国内MEMS传感器产业链的发展和成熟。全国产化的生产体系与全产业链技术积累一方面保障了公司的供应链安全，另一方面也促进了公司与供应商之间的协同合作、更快地响应下游客户需求，持续更新迭代产品，抢占新兴市场先机。

  最后，李刚博士简要介绍了应用于敏芯全产业链研发中的芯片结构工艺、仿真工具开发、产品封装设计、测试系统及IT系统研发等相关内容，如采用先进封装技术实现MEMS传感器晶圆级批量封装；开发可实现高速大批量并行测试的测试系统，满足多物理场相互作用的MEMS器件测试需求；自主研发IT系统，实现MEMS产品制造的高效化、电子化及智能化等。

  提问环节，线上听众积极踊跃，李刚博士以北大校友的身份与大家进行亲切交谈，大家就MEMS/NEMS市场前景、消费市场对MEMS产业发展的影响、初创公司团队建立、公司产品布局和未来规划、校企合作等方面进行提问，李刚博士一一解答。

李刚博士 个人简介

  李刚博士拥有80多项MEMS发明专利，是“苏州工业园区首届科技领军人才”、“江苏省科技企业家”，先后参与了国家02专项、科技部863项目、江苏省科技成果转化项目和苏州市科技计划等一批重要项目的科研攻关。他始终坚持全产业链本土化策略，带领团队成功将麦克风传感器、压力传感器和加速度传感器等一批产品推向市场，研制的硅麦克风传感器在超窄灵敏度公差控制、低成本高信噪比前进音封装技术等方面处于世界先进水平。他致力于打造中国的MEMS技术平台型企业，2020年成功带领敏芯股份科创版上市，被誉为“中国MEMS芯片第一股”。