9月2日下午15时，适逢新生开学之际，迎来“未名·芯”论坛系列讲座第四期的顺利举办。本论坛由新葡的京集团3512vip官网、集成电路高精尖创新中心、新葡的京集团3512vip官网国家集成电路产教融合创新平台、集成电路科学与未来技术北京实验室、新葡的京集团3512vip官网校友会半导体分会联合主办。此次邀请到中科院上海微系统所的李昕欣研究员为与会师生带来主题为“在硅片上做MEMS‘微创手术’”的报告。讲座由集成电路院李志宏教授主持，120余人线上参加。
讲座伊始，李昕欣研究员从MEMS工艺的进化历程展开本次报告。他表示第一、第二代工艺分别以硅-玻璃键合、硅-硅键合为基本技术，并应用在引擎控制、血压监测、胎压监测等实际场景；到了第三代，工艺就可以在单芯片上进行器件制造，并把器件的尺寸做的更小。
接下来，李昕欣研究员着重介绍了第三代工艺中的自研成果——单片单面微加工（Mini-holes Interetch & Sealing, MIS）工艺。由于该工艺简称与微创手术（Minimally Invasive Surgery，MIS）一致，且具有“开小孔、挖大腔”这样与微创手术十分相像的技术特点，因此李昕欣研究员将之形象地称为“在硅片上做微创手术”。MIS工艺具有无需SOI晶圆、与IC工艺兼容、可自停止腐蚀等显著优势，因此以MIS工艺为基础，结合微机械结构的创新，就可以实现超小型、高性能MEMS器件的开发研制，基于该技术的自主知识产权，已孵化出上海迷思科技有限公司，并开展产业转化应用，为我国MEMS产业提供新的发展可能。
随后，李昕欣研究员列举了一系列利用MIS工艺制造的器件实例，包括高温压力传感器、热电堆红外探测器、气体流量传感器、PM2.5传感器等。随着不断精进的MIS工艺，开发了PS3、TUB、Scar-free MIS等技术，进一步实现了“小尺寸、高性能、低成本”的器件制造目标。他还提及到独具特色的“中医MEMS器件”——将MEMS传感器用于中医把脉、针灸等领域，用新时代科技为中华优秀传统文化赋能。
报告的最后，李昕欣研究员对MIS工艺的未来作出了展望，他希望该技术未来能够在中国大地上进一步开花结果。
在提问环节，线上听众积极与李昕欣研究员进行交流。针对不同材料界面应力匹配、多层腔结构封装可靠性、压力传感器阻尼和MIS工艺用于单片集成等方面问题，李昕欣研究员均做了详细、全面的回答。
个人简历
李昕欣研究员从事MEMS和微纳传感器技术研究长达35年。曾先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学、日本东北大学从事研究工作。2001年入选中国科学院百人计划，回国任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导。曾连续两届担任传感技术国家重点实验室主任，现任该所副总工程师。现担任四种国际SCI期刊编委。现任中国仪器仪表学会微纳器件与系统分会副理事长、中国微米纳米技术学会理事兼副秘书长、中国机械工程学会微纳制造技术分委员会副主任、中国半导体行业协会MEMS分会副理事长。社会兼职包括九三学社中央委员、上海市政协常委。
他曾获得荣誉包括：国家杰青、新世纪百千万人才工程国家级人选、国务院政府特殊津贴、国家技术发明二等奖、上海市技术发明一等奖、上海市领军人才、上海市科技英才、全国百篇优博论文导师。发表论文中包括SCI期刊论文约300篇，Transducers、IEEE MEMS和IEDM等顶级会议论文近200篇。拥有发明专利100多项，且约30项已成功授权或转让实现转化。
