超材料作为一种人工电磁材料，可以通过改变其单元结构的形状、分布等来控制其电导率和磁导率，进而改变材料的光学性质，主要应用包括：“隐身衣”、超透镜、吸收器等。动态可调超材料是近些年超材料领域的一个重要发展方向，通过材料相变控制、耗尽层调控、微纳结构调控等方式，实现超材料电磁特性的动态调节或重构。在各调控方式中，基于微纳机电系统（Micro/Nano-electro-mechanical system, MEMS/NEMS）调控方法可将整个超材料器件尺寸缩小到微米量级，频率提高至兆赫兹，但缺点是调控范围窄。因此，设计一种大范围、可重复调控的超材料器件显得至关重要。

新葡的京集团3512vip官网信息科学技术学院微纳电子学研究院、微米/纳米加工技术国家级重点实验室吴文刚教授课题组提出了一种新型MEMS动态可调超材料阵列，可控制电磁反射峰在中红外至远红外窗口之间任意切换。课题组利用聚焦离子束应力引入致形变技术（Focused ion beam stress-introducing deformation, FIB-SID）制得三维“手型”超材料单元阵列。在电流控制下，该纳米级“手型”结构可进行三维形变，其结构形状可在张开状态（开态）和闭合状态（关态）之间切换。由于在开态、关态下光-物质的谐振区域发生改变，电磁谐振峰将发生明显转移，该超材料器件的电磁反射峰可在中红外（6.3mm）至远红外（10.4mm）窗口间任意切换，开关比达到95%。这项工作将聚焦离子束工艺与MEMS技术相结合，总结了一种在纳米尺度动态控制三维结构的策略，为构建光学器件及其在光电系统中的集成提供了重要思路。

报道该研究成果的学术论文“Multi-Direction-Tunable Three-Dimensional Meta-Atoms for Reversible Switching between Midwave and Long-Wave Infrared Regimes”已于2016年10月被《纳米快报》（Nano Letters）接收。

博士生毛逸飞为论文的第一作者，吴文刚教授为通讯作者。相关工作得到了国家级先进制造项目、教育部博士点基金项目、国家自然科学基金项目以及国家“973”计划课题等的支持。

文章链接：http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.nanolett.6b03210