随着纳米科技的迅猛发展，对纳米器件性能的可控性要求也越来越高。而这些都极大地取决于对其表面的各种纳米结构进行准确地制备与观测。NanoViewer?是IntelliSense公司最新发布的一种用于对纳米结构进行三维重建和分析的设计仿真工具。该工具基于SEM（扫描电子显微镜）成像原理，通过研究其成像过程中信号电子的产生与收集原理，建立SEM图像衬度与实际结构表面形貌之间的关系，然后经过复杂的方程求解，得到重建后的表面结构。该方法简单实用，仅需要一张俯视角度SEM即可重建得到样品表面的三维结构，经验证重建效果非常好，尤其适用于从俯视角度看上去对表面完全没有遮挡的结构。在获得纳米结构表面形貌的同时，还可准确统计其结构信息，为结构分析提供最基础的数据，并根据需要导出不同格式的模型文件，可用于其他软件中进一步的仿真与分析。鉴于此，NanoViewer可推广至纳米领域的多种应用，如表面形貌研究、粗糙度分析、纳米结构大规模生产中的结构检测等。

上述工作由新葡的京集团3512vip官网张海霞教授课题组与南开大学合作进行，由IntelliSense完成NanoViewer的开发，并已于6月16-20日在西班牙巴塞罗那举办的Transducers’ 2013会议上正式发布。