2016年10月26日，科技部发布了国家重点基础研究发展计划（即 “973计划”，含重大科学研究计划）2015年结题项目验收结果。 由微纳电子学研究院张兴教授担任首席科学家的 “973计划”信息领域项目“超低功耗高性能集成电路器件与工艺基础研究”出色地完成研究任务并顺利结题，以“优秀”的评价通过验收。
